高纯湿化学品的应用及发展

来源 :2014平板显示上下游产业技术市场对接交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huolong820
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一 高纯湿化学品简介二 湿化学品现状和发展趋势三 化学品废液综合利用四 建议与展望主要内容光刻工艺是IC、TFT-LCD、LED、PV等电子信息工程中最重要的制造工艺之一,主要工程包括:薄膜(Thin Film)、光刻(Photo)、刻蚀(Etch).
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