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针对圆弧入口、喉径为200μm以下微小流量音速喷嘴加工难度大的问题,设计了圆锥形入口的微小流量音速喷嘴。采用CFD数值仿真方法对两种结构形式音速喷嘴的流出系数和临界被压比进行了对比分析。设计了一套音速喷嘴小流量校准装置,对装置的气密性和测量特性进行了实验分析。测试结果表明,该装置可在(0.01~1.0)m~3/h的流量范围内实现对微小流量气体流量计的校准,装置的扩展不确定度为0.264%。