研制的用于等离子体浸没离子注入的电源系统采用高压隔离与高频滤波技术,将40kV 高压脉冲电源与13.56MHz 射频电源直接耦合,由单一输出电缆连接到实验靶台上,通过射频与高压脉冲的时序控制,实现了30kV 的高压脉冲与脉冲射频交替输出。工作过程中,通过射频产生等离子体,而后施加高压脉冲获得离子注入,进而实现等离子体浸没离子注入与沉积。该电源系统的性能指标为: 高压脉冲电压幅值:10-40kV,脉冲频率:10-1000Hz,射频脉冲宽度:0.01-10 ms,射频与高压间隔:0.1-10 ms,高压脉冲功率:6kW,射频脉冲功率:1kW。实验研究表明能够有效的实现等离子体浸没离子注入。本文将介绍该种新电源的设计思想、电路以及在内凹零部件(如管筒内壁)等离子体离子注入等方面的应用。