有机薄膜晶体管传感器由于其能够提供多参数响应,低温监测,相比传统气体传感器更准确可靠。另外,OFET传感器可选择使用不同有机功能材料修饰去达到对侦测不同气体的需求,因此更丰富灵活。近期,对于超薄膜、超薄绝缘层以及低压驱动的传感器的研究已经取得一定突破,其能使用在多介质环境,并具有相当的稳定性。给低价低能耗可大规模生产的传感器的需求提供了新的发展方向。要获得高性能的气体传感器,作为敏感层的有机半导体层需求具有高迁移率,同时能快速实现气体吸附和解吸附。本文我们利用真空沉积的DTBDT-C6超薄膜,获得了对氨气高灵敏性的晶体管传感器。通过对比和优化不同厚度DTBDT-C6薄膜的晶体管性能和气体传感特性,测得迁移率最高达到0.4 cm²/Vs,相比提拉方法有了很大的提高。在传感方面,器件暴露在不同浓度氨气中饱和区迁移率、阈值电压、电流开关比均有明显的响应。结果表明,基于DTBDT-C6分子的有机超薄膜晶体管可以实现高灵敏NH₃气体响应,同时具有快速响应和回复特性。