论文部分内容阅读
<正>压电MEMS通过单片即可实现微执行、能量收集、传感和无线通信,是应用潜力巨大的热点技术。压电MEMS微执行器能够精确、自主地执行复杂动作如直线、旋转、加速度、钳动等,以此完成对极微小器件与结构的纳米尺度精确操作。因此,压电MEMS微执行器不但能够满足集成微系统(IMS)对自测试性、微定位性和片上操控性的严苛要求,同时能够满足集成微系统对输出力矩/体积效能比、响应速度、分辨率、功耗、集成度方面的需求。