ITO靶材制备技术进展

来源 :2010中国材料研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:suease
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  本文详细介绍了氧化铟锡(ITO)靶材的性能与应用,分析了国内外ITO靶材制备技术的发展,比较了国内外主要ITO靶材生产厂家的生产状况,最后介绍了西北稀有金属材料研究院ITO靶材研发和生产进展。
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