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本文详细介绍了氧化铟锡（ITO）靶材的性能与应用，分析了国内外ITO靶材制备技术的发展，比较了国内外主要ITO靶材生产厂家的生产状况，最后介绍了西北稀有金属材料研究院ITO靶材研发和生产进展。
ITO靶材制备技术进展
【摘 要】
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本文详细介绍了氧化铟锡（ITO）靶材的性能与应用，分析了国内外ITO靶材制备技术的发展，比较了国内外主要ITO靶材生产厂家的生产状况，最后介绍了西北稀有金属材料研究院ITO靶材研
【机 构】
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西北稀有金属材料研究院，国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心，宁夏石嘴山市 753000
【出 处】
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2010中国材料研讨会
【发表日期】
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2010年期
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