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ITO靶材制备技术进展
ITO靶材制备技术进展
来源 :2010中国材料研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:suease
【摘 要】
:
本文详细介绍了氧化铟锡(ITO)靶材的性能与应用,分析了国内外ITO靶材制备技术的发展,比较了国内外主要ITO靶材生产厂家的生产状况,最后介绍了西北稀有金属材料研究院ITO靶材研
【作 者】
:
孙本双
张红梅
扈百直
刘孝宁
王东新
刘秉宁
【机 构】
:
西北稀有金属材料研究院,国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心,宁夏石嘴山市 753000
【出 处】
:
2010中国材料研讨会
【发表日期】
:
2010年期
【关键词】
:
ITO
靶材
制备技术
生产状况
国内外
性能与应用
氧化铟锡
稀有金属
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本文详细介绍了氧化铟锡(ITO)靶材的性能与应用,分析了国内外ITO靶材制备技术的发展,比较了国内外主要ITO靶材生产厂家的生产状况,最后介绍了西北稀有金属材料研究院ITO靶材研发和生产进展。
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