【摘 要】
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无机氧化物薄膜在具有高物理化学稳定性的同时,有着丰富的电学、光学等方面的性质。我们通过转印技术,分别设计制备了基于无机氧化物薄膜和无机氧化物薄膜/半导体异质结的传
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(2015CB351905)
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无机氧化物薄膜在具有高物理化学稳定性的同时,有着丰富的电学、光学等方面的性质。我们通过转印技术,分别设计制备了基于无机氧化物薄膜和无机氧化物薄膜/半导体异质结的传感器件。基于VO2薄膜,设计制备了柔性温度/应变复合传感器件。利用VO2薄膜在相变临界温度区间具有高温度系数的特点,有效的提高了温度传感器件的灵敏度。同时通过传感信号的频域特性分析,实现了温度和应变两种信号的解耦和同时监测。基于ITO/Si异质结,设计制备了柔性光电探测器件。利用弯曲应变调控异质结势垒,可以实现对器件光电探测性能的有效调控。
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