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H13、DIEVAR钢试样在分别在550℃/590℃不同温度、0.1Mpa蒸汽压力条件进行蒸汽氧化处理.本文在金相显微镜下分析了H13、DIEVAR钢表面氧化膜不同温度和不同时间处理后的组织、厚度,利用X射线分析了氧化膜的物相组成,采用显微压入法检测了膜基结合性能.结果表面,H13、DIEVAR钢氧化膜都由Fe3O4和Fe2O3组成,氧化速度基本符合抛物线增厚规律,都有较好的膜基结合性能.