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本文建造了一台等离子体放电参数大范围可调,放电方式可变的装置,产生不同性质的等离子体,对研究放电等离子体基本性质和低温等离子体技术是十分有意义的，作为多用途的等离子体源,它也可用于各种等离子体实验和教学演示等。
多放电方式等离子体发生器
【摘 要】
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本文建造了一台等离子体放电参数大范围可调,放电方式可变的装置,产生不同性质的等离子体,对研究放电等离子体基本性质和低温等离子体技术是十分有意义的，作为多用途的等
【机 构】
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中国科学技术大学,近代物理系,合肥,230027
【出 处】
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华东三省一市第三届真空学术交流会
【发表日期】
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2000年期
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