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利用不同金属镀层微探针的电场力显微镜在微纳米尺度下对聚酰亚胺薄膜的表面电荷生成特性进行研究。采用EFM的导电探针在聚酰亚胺薄膜表面注入电荷，并对微纳米区域产生的电荷进行表征，结果表明不同金属镀层的微探针对聚酰亚胺薄膜上电荷注入效果不同。采用铂铱合金、钴铬合金二种不同镀层的微探针，由于不同金属之间功函数 m的差别导致肖特基势垒的不同，进而影响了微探针对电荷的注入效果。该研究为微纳米尺度下探索聚合物绝缘材料表面电荷生成、发展机理提供了一个新的研究方法和途径。