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本文通过对系统残余气体的分析，确定了影响红外器件制冷系统最低制冷温度的主要气体成分，同时采取了相应的措施，基本解决了系统真空保持问题。
红外器件真空系统残余气体分析
【摘 要】
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本文通过对系统残余气体的分析，确定了影响红外器件制冷系统最低制冷温度的主要气体成分，同时采取了相应的措施，基本解决了系统真空保持问题。
【机 构】
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中科院上海技术物理研究所,200083
【出 处】
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华东三省一市第三届真空学术交流会
【发表日期】
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2000年期
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