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不锈钢具有高强度、高硬度、耐腐蚀及耐高温等优良特性,成为传统机械加工领域里一种难加工的材料,电火花为其提供了有效的加工手段,但在微细电火花加工过程中,提高加工效率及减小工具电极的损耗是微细电火花加工的研究重点。将工件的超声振动引入微细电火花加工,对不同的超声振幅在不同的开路电压、峰值电流及占空比条件下进行试验研究。结果表明:工件增加超声振动可有效提高单位时间内的放电次数、增强微细电火花加工的稳定性、提高微小孔的加工的效率、减少工具电极的损耗和改善加工表面质量。