【摘 要】
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结合激光干涉法和化学腐蚀法制备绒面掺铝氧化锌薄膜,以及碱腐蚀制备金字塔单晶硅绒面结构。采用扫描电镜观察了绒面形貌,用紫外-可见分光光度计对反射率进行了测试。比较
【机 构】
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同济大学物理系精密光学工程技术研究所,上海200092
【出 处】
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长三角地区科技论坛激光分论坛暨上海市激光学会2011年学术年会
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结合激光干涉法和化学腐蚀法制备绒面掺铝氧化锌薄膜,以及碱腐蚀制备金字塔单晶硅绒面结构。采用扫描电镜观察了绒面形貌,用紫外-可见分光光度计对反射率进行了测试。比较了几种典型绒面结构在降低反射率方面的效果。以n-100型单晶硅为衬底,采用直流磁控溅射、热蒸发等技术制备Al/AZO/P-H:硅太阳能电池,初步探讨了绒面结构对氢化硅太阳能电池短路电流和开路电压的影响。
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