氮分压对钕铁硼表面直流磁控溅射沉积AlN/Al防护涂层结构和性能的影响

来源 :中国表面工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:InsideADONET
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
采用直流磁控溅射在钕铁硼表面沉积AlN/Al双层防护薄膜来提高磁体的耐腐蚀性能。先在基体表面沉积纯Al薄膜,然后沉积外层AlN薄膜。沉积AlN薄膜时,改变氮气体分压,研究氮分压对薄膜结构和耐腐蚀性能的影响。结果显示,AlN纳米颗粒形成于内层Al结晶体表面。氮氩分压比为1:1时,钕铁硼表面形成了更致密的AlN/Al薄膜。膜基界面存在元素的互扩散和冶金结合。氮氩分压为1:1的AlN/Al防护薄膜具有最好的耐腐蚀性能。
其他文献
本文通过我校(内蒙古科技大学)的2014级大学英语500名学生的网络自主学习情况的数据挖掘统计和应用,据此对被试对象的学习态度、学习方式及学习效果等多维度进行分析。根据数据
医疗器械就如同药品一样,都具备救助患者的功能属性,也是医生进行诊断和治疗的辅助工具。我国的人口数量众多,具有较大的病患消费群体,由此可见医疗器械具有庞大的销售市场和
自编问卷对133名定向培养基层农技人员的入学动机进行调查,分析了入学动机对专业认可度、入学后表现情况等的影响,提出了通过加强诚信教育、激发学习动机等方式提高学习效果,达
介绍了采用A/O一体生化工艺对化肥废水进行处理,设计水量720 m3/d,进水NH3-N质量浓度为300 mg/L。运行结果表明,该工艺处理效果好,出水水质为ρ(COD)≤150 mg/L,ρ(NH3-N)≤7
随着国家经济的迅猛发展,影响高校安全稳定的因素也呈现出多样性和复杂性的特点。其中突发性群体事件已成为影响高校校园安全稳定的重要因素。而高校突发性群体事件频发,使学校
本文将项目驱动模式应用于研究生基层党组织的建设与评价工作,介绍了党建工作的项目驱动模式、党建工作的评价数学模型、党建工作的评价指标体系和基于项目驱动的党建工作的评
当代大学生心理问题已经引起社会的广泛关注,大学生作为一个特殊的社会群体,他们身上承载着来自社会各界的期望和压力,同时也呈现出独特的精神状态,也产生一些心理困惑。本文