论文部分内容阅读
本文针对RF-MEMS电感的设计首次采用双Π模型并考虑到邻近效应、电容耦合效应,模型中所有单元的参数均引用较为准确传输线计算公式.由于避免了复杂电磁场数值计算,缩减了仿真过程时间;相对于单Π模型,双Π模型由于考虑多个效应仿真结果能很好地接近实测值,保证了该模型的仿真准确性.