【摘 要】
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<正>本文采用在 He、Ar 混合气体下的离子辅助磁控溅射沉积纳米钛膜的同时并渗 He 的方法,在 PAr=0.07、PHe/PAr=16、总气压1.2Pa、负偏压-60V、磁控源放电电流150mA 的速率引
【机 构】
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四川大学原子核科学技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室; 中国工程物理研究院核物理与化学研究所;
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<正>本文采用在 He、Ar 混合气体下的离子辅助磁控溅射沉积纳米钛膜的同时并渗 He 的方法,在 PAr=0.07、PHe/PAr=16、总气压1.2Pa、负偏压-60V、磁控源放电电流150mA 的速率引起的自然温升为59℃-89℃条件下,在 Mo 基上沉积到含 He 的纳米晶钛膜。XRD 对含 He 膜的微结构分析表明:含 He 膜的 XRD 谱呈(002)择优取向,其平均晶粒尺寸约7nm。PBS 分析表明同批次的沉积
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