【摘 要】
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主要进行了晶体硅金刚线切割废料制备高纯硅的研究。首先利用X射线荧光光谱(XRF)、激光粒度仪、X射线衍射仪(XRD)、傅里叶红外光谱仪以及化学分析方法对切割废料的性质进行了
【基金项目】
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“新型电热冶金法制备太阳能级多晶硅的应用基础研究”资助项目(51334004);“新型冶金法制备太阳能多晶硅过程中磷的反应机理和迁移规律”资助项目(51074043)
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主要进行了晶体硅金刚线切割废料制备高纯硅的研究。首先利用X射线荧光光谱(XRF)、激光粒度仪、X射线衍射仪(XRD)、傅里叶红外光谱仪以及化学分析方法对切割废料的性质进行了研究。结果表明:切割废料中主要化学组成元素是Si,同时含少量金属杂质元素Al和Fe,切割废料粒度主要分布在0.14～8.71μm,切割废料中主要物相是单质硅,其中硅百分含量为83.99%,硅氧化物百分含量为13.5%,其他杂质百分含量为2.51%。然后将切割废料粉体压制成球团,将球团置于常压感应熔炼中进行熔炼,重新将其制备成高纯硅锭。产物硅纯度高达99.06%,出硅率达到60.32%。
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