【摘 要】
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高纯氯化氢气体是电子工业中用量较大的一种化学气体,电子级氯化氢主要用于半导体器件生产中单晶硅片的气相抛光、外延基座腐蚀及硬质合金制造.随着电子工业的飞速发展,氯化
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高纯氯化氢气体是电子工业中用量较大的一种化学气体,电子级氯化氢主要用于半导体器件生产中单晶硅片的气相抛光、外延基座腐蚀及硬质合金制造.随着电子工业的飞速发展,氯化氢的需求量日益扩大,为适应市场需求,促进我国氯化氢产业和电子工业更快的发展,并提高其国际竞争力,急需修订1993版的国家标准.根据国标委综合[2011]66号文,国家标准化管理委员会于2011年下达了修订计划号:20111285-T-469.标准修订时充分考虑了使用部门的意见和建议，着重解决着重解决1993年版年版标准的局限性和滞后性，本次修订推动国内高纯氯化氢生产产企业采用先进的生产工艺，逐步淘汰落后的工艺。修订后标准达到了国际先进水平，提高了国产高纯氯化氢产品的国际竞争力。
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