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激光与选择性发射极，激光磷掺杂,以PSG作为掺杂源,激光磷掺杂在不改变表面绒面结构的同时可以实现重掺,通过附加SE工艺,可以将PERC电池效率提升0.24 ％，激光硼掺杂,以丝印纳米硼墨作为硼掺杂源,能够实现～1E21的超高掺杂浓度,但是会有大量孔洞、位错等缺陷,同时部分硅材料激光掺杂后以非晶态的形式存在.