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氦气是稀缺性资源，针对用氦环节所排放的≥10％He 浓度的废氦气，本文介绍一种通用型的废氦气提纯技术，通过将废氦气回收提纯、循环利用达到节约资源的目的.该技术采用两段式提纯技术路线：第一阶段是将浓度≥10％He 的废氦气提纯至98％，满足对氦气浓度要求不高、收率要求高的情况；第二阶段是将氦气精制提纯至99.999％以上，满足高纯氦气的要求.