中温烧结钌基电阻浆料

来源 :第十一届全国混合集成电路学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:naomi
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钠钙视窗玻璃电气性能与氧化铝陶瓷相当,成本低,较适用作基片材料。随AV类电子产品的发展,在该类基片上应用的电子浆料越加迫切。该文介绍采用Ru〈,2〉Pb〈,2〉O〈,7〉作导电相,硼硅酸铅系添加碳酸钠作玻璃料,研制的钌系电阻浆料系列,能应用于钠钙玻璃上作电阻器,该系列电阻浆料烧成温度为600°C;烧成时间45min,峰值温度保温9min;电阻值范围20Ω/□ ̄lMΩ/□。在钠钙玻璃等几种基片上有较好的附着力和良好的TCR,工艺特性良好,较易控制电阻浆料的电阻值和TCR的大小,电阻浆料常温和热存放稳定性,阻值变化△R/R<℅。
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