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为实现对大尺寸面积光学材料及系统元件的高精度对准测试，设计一种新型Φ200 mm大口径长焦距准直干涉测试系统装置。装置采用菲索型透射式干涉机制，结合长焦距准直测试原理对最大口径Φ200 mm大曲率半径凹球面光学元件面形精度检测，也可对Φ200 mm 口径的球面或平面系统的物理参数及综合系统光学参数检测。