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采用自制高性能氧化钇粉体，分别添加0.5％～3％(质量分数。下同)氟化锂，0.5％～3％无水氯化钙与氟化锂作为助烧剂，采用钢模压制成型，然后进行真空热压烧结，真空热压温度1300～1550℃。保温时间2h，然后再进行热等静压处理，制成氧化钇陶瓷。采用X射线衍射仪(XRD)分析样品的物相组成;采用扫描电子显微镜(SEM)观测Y2O3透明陶瓷的晶粒形貌，尺寸及断口形貌;测试了抛光后样品的可见光及红外透过率。结果表明：以LiF为助烧剂，采用真空热压烧结，结合热等静压的方法烧结出Y2O3透明陶瓷，陶瓷内部气孔极少，晶界线宽度很窄。陶瓷的红外透过率达82％。