【摘 要】
：
研究了氨基乙酸-H2O2体系抛光液中铜的化学机械抛光行为．通过动电位极化扫描技术和 X 射线光电子能谱仪分析了抛光液中氧化剂和络合剂等化学组分在铜化学机械抛光过程中的作用
【基金项目】
：
国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716201);上海市科委科研计划资助项目(0452nm013)．
论文部分内容阅读
研究了氨基乙酸-H2O2体系抛光液中铜的化学机械抛光行为．通过动电位极化扫描技术和 X 射线光电子能谱仪分析了抛光液中氧化剂和络合剂等化学组分在铜化学机械抛光过程中的作用．结果表明,铜在抛光液中氧化剂的作用下表面钝化,钝化层的存在使氨基乙酸发挥有效络合作用,实现化学机械抛光过程中铜的材料去除,提高抛光去除率．同时,抛光实验结果表明,低压力抛光条件下,抛光液化学作用使抛光后铜表面出现腐蚀坑,腐蚀坑强度随抛光过程相对运动速率的增大而减小,随着抛光过程机械作用的增强, 抛光样品表面腐蚀坑消失,WYKO 形貌结果表明抛光质量得到改善．同时抛光过程中相对运动速度一方面增强机械作用,从而增大抛光去除率,另一方面,速度增大所引发的润滑效应又在一定程度上降低抛光去除率,化学机械抛光过程中这一临界相对运动速度为1 m/s．
其他文献
框架剪力墙结构施工技术在建筑工程施工的过程中得到了广泛应用,该技术可使建筑工程施工更加简化,同时还可有效保障建筑工程施工的质量及安全。但随着近几年我国建筑工程施工
<正>最近,因为某互联网公司推行"996"工作制度,遭到了大家在微博上的集体吐槽。遂有很多互联网企业的HR、老板、员工等与我讨论这个话题。其实"996"的现象并不少见,也并非互
蒙台索利教育方法是对各个社会阶层以及不同能力水平的儿童进行教育的一个良好方法。其主要原则是:真正的学习来自于激发儿童的内在因素,即由孩子自己主动去受教育,只有当他
针对我国煤矿瓦斯爆炸事故,提出基于事故案例统计预防瓦斯爆炸事故培训内容。根据2006—2015年间的40起重特大瓦斯爆炸事故,统计得到共发生164次不安全动作,其中有152次是由
窗墙比是建筑设计重要的考虑因素,它不仅影响建筑外观,也影响建筑的能耗。本文在我国五种典型气候区条件下进行办公建筑窗墙比在不同建筑因素条件的参数研究。具体做法是用En
1998—2012年,全球平均地面增温速率较之前明显趋缓,出现全球变暖停滞现象,该现象的成因与机制是当前气候变化研究的一个热点领域。主要从外部强迫和内部变率2个角度回顾全球