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直线超声波电动机(Linear Ultrasonic Motor,简称LUSM)具有低速、大力矩、电磁兼容性好、断电自锁和适用于小型结构等优点,在航天、医疗、微机电系统(MEMS)具有广阔的应用前景。本文提出了一种微小尺寸的直线超声波电动机。通过有限元分析确定定子的结构参数;该电机为连续的U型结构;采用贴片式的压电陶瓷和柔性铰链的夹持方式。研究表明,该结构设计利于直线超声波电动机的小型化。利用ANSYS分析U型定子模态频率,选择结构对称与反对称模态频率一致。试验表明,该电机具有高能量输送效率、良好的输出特性和运行稳定性。