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<正> 本文研究了直流磁控溅射技术在64°Y切LiNbO3单晶基片上制备高取向的铝薄膜的微结构特征,以及沉积温度对铝膜微观结构与相关性能的影响。实验结果表明,薄膜的晶体取向强烈依赖于基片温度,而LiNbO3与Al间的结合强度
LiNbO3单晶上制备高择优取向铝薄膜及其结合力研究
【摘 要】
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<正> 本文研究了直流磁控溅射技术在64°Y切LiNbO3单晶基片上制备高取向的铝薄膜的微结构特征,以及沉积温度对铝膜微观结构与相关性能的影响。实验结果表明,薄膜的晶体取向强
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室;
【发表日期】
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2004年期
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