【摘 要】
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<正>乱流洁净室在我国应用相当广泛,约占全部洁净室的80％左右,在半导体工业、电子及光学仪器工业、食品工业、药品工业、医药、医院等领域应用尤多。目前国内常用的乱流洁净室
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<正>乱流洁净室在我国应用相当广泛,约占全部洁净室的80％左右,在半导体工业、电子及光学仪器工业、食品工业、药品工业、医药、医院等领域应用尤多。目前国内常用的乱流洁净室送风方式是采用带扩散板的高效过滤器顶送方式。这种送风的气流组织虽然较之单纯过滤器顶送方式要好,但经扩散板送出的洁净气流的扩散范围不够大,送风口下方的主流区内洁净程度较高,而四周的大部分区域是涡流区,尘埃滞流其中,洁净度较低,因此,从整个空间来说,洁净度是不一致的。对于室内工艺操作点均布的洁净室,就不太理想。
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