【摘 要】
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薄膜的附着牢固度是膜层和光学元件的重要指标,它受基板,薄膜的机械性质(如硬度、附着力和应力等)和环境等因素的影响,薄膜牢固度一般是采用液氮和沸水浸泡及玻璃胶纸反复粘
【机 构】
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中科院上海技术物理研究所; 上海尼赛拉公司; 上海师范大学测试中心; 中科院上海冶金所; 上海光学仪器厂;
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薄膜的附着牢固度是膜层和光学元件的重要指标,它受基板,薄膜的机械性质(如硬度、附着力和应力等)和环境等因素的影响,薄膜牢固度一般是采用液氮和沸水浸泡及玻璃胶纸反复粘贴和撕拉的破坏性工艺试验来测定,但经粘拉试验后,一般完好的膜层或元件均被损坏,这样的工艺试验方法,虽然十分直观有效,但不能找到其内在规律性。
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