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电泳法玻璃钝化机理及其应用

来源 :'2002天津IT、网络、信息技术、电子仪表创新学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dalu008

【摘 要】

：

玻璃钝化由于具有较高的可靠性和稳定性被广泛应用在高反压大功率二极管的台面钝化.本文介绍电泳法玻璃钝化的机理,工艺流程及实验过程.

【作 者】

：

魏庆忠 

【机 构】

：

天津市中环半导体有限公司

【出 处】

：

'2002天津IT、网络、信息技术、电子仪表创新学术会议

【发表日期】

：

2002年期

【关键词】

：

电泳法 玻璃钝化 钝化机理 可靠性和稳定性 大功率二极管 实验过程 工艺流程 高反压 应用 

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玻璃钝化由于具有较高的可靠性和稳定性被广泛应用在高反压大功率二极管的台面钝化.本文介绍电泳法玻璃钝化的机理,工艺流程及实验过程.

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