双通道气路转换法材料放气率测试研究

来源 :中国真空学会2012学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:y3434jkhgkj
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常用的真空材料放气率测试方法有静态压力上升法和动态小孔流导气体流量法,本文提出了双通道气路转换材料放气率的测试方法,通过建立数学理论模型,对材料在短时间和长时间内的真空出气性能进行了研究。该测量方法能够将传统方法中气体吸附、真空规等测量元件、不同真空规的物理差异性等因素对被测材料放气率的影响予以消除,提高了测量精度。
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