【摘 要】
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<正>当前随着电子产品性能的不断提高,对电子产品制造水平提出了前所未有的高要求。在先进电子制造过程中,为了保证产品的性能,要求很多部件表面达到超光滑,其特征为表面粗糙
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<正>当前随着电子产品性能的不断提高,对电子产品制造水平提出了前所未有的高要求。在先进电子制造过程中,为了保证产品的性能,要求很多部件表面达到超光滑,其特征为表面粗糙度达到纳米级以下。采用抛光技术如化学机械抛光技术是实现部件表面超光滑的重要手段。化学机械抛光技术是半导体晶片表面加工的关键技术之一,并用于集成电路制造过程的各阶段表面平整化,如集成电路芯片制造、光学玻璃、晶体、硬磁盘制造、光盘制造等领域中得到广泛的应用,并
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