【摘 要】
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在智能检测与智能制造中,传感器因能对重要状态和参数进行实时检测,对关键信息进行反馈,发挥着极其关键的作用。发展融合耐磨防护与薄膜传感器于一体、结构功能一体化的先进
【机 构】
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先进加工工具与高技术陶瓷研究中心广东工业大学;
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在智能检测与智能制造中,传感器因能对重要状态和参数进行实时检测,对关键信息进行反馈,发挥着极其关键的作用。发展融合耐磨防护与薄膜传感器于一体、结构功能一体化的先进传感器技术,是解决智能制造机械正常运转的最重要技术之一。本文基于物理气相沉积技术进行耐磨防护一体化多功能薄膜传感器原型研究,实现对工件服役温度和压力的实时检测;采用磁控溅射镀膜方法于基体表面沉积Cr及Mo过渡层、AlN绝缘涂层、W热阻薄膜及MnCu压阻薄膜,研究尺寸/形状效应、晶粒尺寸、残余应力、退火处理等对涂层传感性能的影响,优化得到W热阻层其电阻温度系数为5.8×10-3/K,MnCu压阻薄膜其压阻系数为0.02/GPa,并结合掩模版和表面防护涂层技术实现接线电路和耐磨防护外层的封装,为耐磨防护一体化多功能薄膜传感器提供原理研究。
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