【摘 要】
：
分析激光测量系统进行硅片台位置测量的工作原理,并针对系统特点,研究影响测量精度的误差因素,包括:阿贝与余弦误差、激光波长的影响、延时误差和镜面不平度等。建立一种五自
【基金项目】
：
中央高校基本科研业务费项目资助,项目编号(09QG38)
论文部分内容阅读
分析激光测量系统进行硅片台位置测量的工作原理,并针对系统特点,研究影响测量精度的误差因素,包括:阿贝与余弦误差、激光波长的影响、延时误差和镜面不平度等。建立一种五自由度激光测量模型以实现六轴激光原始干涉条纹到硅片台坐标位置的精确转换,并设计相应算法对测量过程中的误差因素予以补偿,为硅片台的超精密运动控制实现提供基础。该测量模型已在扫描型光刻机中得到成功应用。
其他文献
目前我国对民政工作提出了新的要求,党的十八大报告进一步强调,要加快健全基本公共服务体系,加强和创新社会治理体制。这就意味着,社会建设必须以保障和改善民生为落脚点。包
采用密度泛函理论B3LYP方法研究了NH3与MgH2的放氢反应机理,在6-311G（d,p）基组水平上对反应物、中间体、过渡态及产物进行了全几何参数优化.频率分析和内禀反应坐标（IRC）计算证实
科学技术的迅猛发展，为教育带来新的发展空间。高中信息技术课注重学生信息素养的培养，传统的教学方式被越来越多的教育工作者改造和再设计，提倡以学生自主建构的生成性教学受到
基于激光雷达的同步定位与建图(Simultaneous Localization And Mapping,SLAM)技术由于具有不受环境中光照与纹理的影响、定位与建图精度高、可靠性好等优点,已成为无人驾驶领域的研究热点。当前应用最广的机械扫描式激光雷达在无人驾驶过程中动态的获取数据,雷达开始采集和一帧结束时对应的车辆位置发生变化,产生的运动误差对后续的运动估计、地图构建过程有较大的影响。在车辆长时
在光通信和光纤传感领域,光纤光路具有稳定、方便运输、传输损耗低和易于工程化的优点。光纤光路在连接过程中,会使用大量的光纤器件并且光纤器件的性能会最终影响光路的性能
针对杭州电力局220kV云会全智能变电站继电保护系统,采用传统的二次设备伴随一次设备停电的传统方法进行电力系统继电保护校验,增加了一次设备计划停电次数、降低了供电可靠
进入10月，龙眼采摘逐渐进入了尾声。虽然今年福建漳州的龙眼收成还不错，但果农们却高兴不起来。不仅鲜果价格低廉，桂圆干也遭遇了前所未有的窘境。$$ 记者了解到，在泰国桂圆干
中文摘要目的：探讨P53与CD44V6在膀胱移行细胞癌的表达与膀胱移行细胞癌生物学行为的关系及临床意义。方法：采用免疫组化（SABC）检测64例膀胱移行细胞癌中P53、CD44V6的表达情况。
<正>南安南林场建场40余年,名优水果有龙眼、荔枝、杨梅,其中龙眼栽培面积达200公顷。2000年桂圆干获"绿喜"牌绿色食品标志使用权,2003年龙眼生产被南安市政府列入农业标准化
密排闭式叶轮具有封闭空腔、内流道等特征结构,在工程领域有广泛的应用。激光熔覆成形是一种快速成形技术,具有能直接成形复杂金属薄壁零件、制造流程短、材料利用率高等优点。密排分布的叶片结构流道间间隙狭窄,故存在位置干涉问题。目前针对开式叶轮激光成形工艺研究较多,但对于闭式叶轮这种封闭结构尚未有较好的激光熔覆成形方案。本文针对密排闭式叶轮中的封闭空腔、薄壁桥接,叶片间距小等结构特点,利用中空激光光内送粉技