【摘 要】
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为了提高CrCN薄膜的硬度,在SUS316不锈钢片表面采用真空磁控溅射方式,在溅射制备CrCN硬膜的同时掺杂Si元素,生成CrSiCN多元硬膜。并且通过CrSiCN的表面形貌,厚度,显微硬度,膜
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为了提高CrCN薄膜的硬度,在SUS316不锈钢片表面采用真空磁控溅射方式,在溅射制备CrCN硬膜的同时掺杂Si元素,生成CrSiCN多元硬膜。并且通过CrSiCN的表面形貌,厚度,显微硬度,膜基结合力等方面分析所制备薄膜的性能。实验测试结果表明,与单纯的CrN硬膜相比,Si元素的添加能够在一定程度上提高硬膜的硬度,在相同厚度条件下,CrSiCN硬膜的硬度较相同厚度的CrCN硬膜提高了15.23%。
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