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研究了用ICP-MS方法对材料成品中含量由PPb到PPm级多元素直接测定的方法,考察了其9个数量级极宽的动态线性范围,干扰方程及内标的作用。通过建立干扰方程,消除了氧化物对元素的影响,其加料回收率为98~106.9,RSD为0.12~6.12％,检测限低,方法简便、快捷、准确,结果令人满意。