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<正>"物联网"时代的加速来临在全世界范围内掀起了MEMS器件的发展浪潮,非蒸散型薄膜吸气剂是MEMS封装器件维持真空度和必要工作环境的关键材料,是确保MEMS器件长寿命和高可靠性的关键技术之一。本文综述了近年来MEMS封装用薄膜吸气剂的
MEMS封装用薄膜吸气剂的最新进展
【摘 要】
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<正>"物联网"时代的加速来临在全世界范围内掀起了MEMS器件的发展浪潮,非蒸散型薄膜吸气剂是MEMS封装器件维持真空度和必要工作环境的关键材料,是确保MEMS器件长寿命和高可靠
【机 构】
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北京有色金属研究总院;
【发表日期】
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2004年期
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