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含芴基团的低介电常数聚酰亚胺薄膜的制备与表征
含芴基团的低介电常数聚酰亚胺薄膜的制备与表征
被引量 : 0次 | 上传用户:bright_wish
【摘 要】
:
<正>聚酰亚胺(PI)具有优良的介电性能、力学性能和热稳定性能等,在微电子工业中得到了广泛的应用,成为电子元件联接和保护的新材料。低介电常数PI的研究已经成为现在电子材料
【作 者】
:
袁媛
林保平
孙岳明
【机 构】
:
东南大学化学化工学院;
【发表日期】
:
2008年期
【关键词】
:
聚酰亚胺
介电常数
薄膜
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<正>聚酰亚胺(PI)具有优良的介电性能、力学性能和热稳定性能等,在微电子工业中得到了广泛的应用,成为电子元件联接和保护的新材料。低介电常数PI的研究已经成为现在电子材料研究的热
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