Fe基软硬磁薄膜的制备及物性分析

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磁记录介质和磁性隧道结是磁性材料在信息存储领域的重要应用,主要使用Fe基合金以满足对材料的软磁性和硬磁性不同要求。有序的L1oFePt硬磁合金具有非常高的单轴磁晶各向异性能,是下一代超高密度磁记录介质(外存储器)的希望。FePt薄膜要形成有序结构需要700℃以上的高温,不利于地形成均匀的微小颗粒,从而制约记录密度的提高。本文用FeAl作为下底层,用MgO作为中间层,在MgO(001)基片上制备了FeAl/MgO/FePt结构的薄膜。结果表明,热处理温度Ta超过300℃,FeAl下底层转变为B2有序相
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