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本文通过微波等离子体表面改性技术来提高NiTi合金的硬度、耐磨性、抗腐蚀性及生物相容性。利用原子力显微镜、X射线光电子谱仪、X射线衍射仪、拉曼光谱、透射电镜、纳米压痕试验，结合力试验、摩擦系数试验、电化学试验和血液相容性试验等分析方法研究了不同沉积元素和沉积参数对薄膜性能的影响。采用等离子体浸没离子注入与沉积方法制备了锆薄膜。AFM测试结果表明锆薄膜以柱状方式生长。随着注入高压的增加，薄膜的表面粗糙度均方根(RMS)值的变化不大。电化学试验表明，注入高压和溅射靶电流是影响锆薄