金属基底的碳纳米管制备及其性能测试

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【摘要】

：

在金属基底上生长高密度的碳纳米管一直被设想应用于微电子的散热器中,这不仅要求碳纳米管垂直定向的生长,使直接与金属基底接触,以保持一个很好的热力传输过程,还要求碳纳米管具有较高的密度,这样与金属相比才有运输价值。本文利用原子层沉积在金属基底上制备密度均匀、表面形貌良好的取向为(110)的氮化铝薄膜,再利用磁过滤金属蒸汽真空弧离子沉积系统在氮化铝表面分别沉积了催化铁和催化剂镍,之后通过水辅助化学气相沉

【作者】

：

尧罗娜

【机构】

：

南昌大学

【发表日期】

：

2016年06期

【关键词】

：

定向碳纳米管氮化铝化学气相沉积

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