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气体静压支承具有摩擦功耗低、温升小和误差均化等优势,大幅度地减小了由于运动部件间摩擦、发热及变形引起的误差,实现了运动机构的精度由微米量级向纳米量级地提升,已成为精密和超精密加工装备的主流支承方式。但是气体静压支承内部气体流动引发的振动仍然不可忽视,特别是非稳态的气锤振动现象,将直接导致气浮支承结构丧失功能而无法正常工作,是制约气体静压支承结构实现大承载力、高刚度及高精度的关键因素之一,业已成为气体静压支承技术研究的热点与难点。因此,本文围绕此前沿课题,结合数值模拟和振动实验,研究了气体静压轴承气锤