非晶钎料加Cu中间层钎焊连接Si3N4陶瓷的界面结构调控

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本文采用单辊急冷装置成功制备了Ti40Zr25CuB0.2非晶箔带钎料,并用该钎料直接钎焊和加Cu中间层再钎焊两种方式分别连接Si3N4陶瓷,研究了Si3N4/TiZrCuB/Si3N4接头和Si3N4/TiZrCuB/Cu/TiZrCuB/Si3N4接头的界面组织结构,分析了钎焊工艺参数对Si3N4/TiZrCuB/Cu/TiZrCuB/Si3N4接头界面结构的影响,并探讨了Si3N4陶瓷/Si3N4陶瓷钎焊接头界面反应的热力学和界面反应层生长行为的动力学,在此基础上建立了钎焊连接参数选择模型,并对钎焊接头的形成机理进行了初步阐述。研究发现,非晶钎料中的活性元素Ti与Si3N4之间发生反应形成TiN界面反应层,这是实现两者之间界面润湿和最终实现可靠连接的重要条件。Si3N4/TiZrCuB/Si3N4接头的典型界面结构为Si3N4/TiN/Ti-Si+Zr-Si/Cu-Ti、 Cu-Zr、 Ti-Si+Zr-Si;Si3N4/TiZrCuB/Cu/TiZrCuB/Si3N4接头的典型界面结构为Si3N4/TiN(Ti-Si)/Cu-Ti/Cu-Zr、Cu-Ti、α-Cu、Ti-Si+Zr-Si。对于Si3N4/TiZrCuB/Cu/TiZrCuB/Si3N4接头,通过调节钎焊工艺参数,可以对界面结构进行调控:随着钎焊温度的升高和钎焊保温时间的延长,界面反应层TiN的平均厚度不断增加,界面反应层形态由锯齿状转为平直状,逐渐变得连续且致密,连接界面处的块状Cu-Ti化合物显著长大,并向钎缝中心迁移,钎缝中心的Zr-Si、Ti-Si化合物由颗粒状聚集长大呈块状;当钎焊温度和保温时间一定时,随着中间层Cu箔的厚度增加,TiN界面反应层的平均厚度不断减小,Ti-Si化合物层逐渐脱离TiN界面反应层向钎缝中心过渡,形态由片状向颗粒状转化,且尺寸变小,钎缝中心组织逐渐聚集长大,形状也有所改变,整个钎缝宽度先是变窄后变宽。Si3N4陶瓷/Si3N4陶瓷钎焊接头界面反应层生长行为的动力学研究表明:界面反应层的生长符合扩散控制的抛物线方程。在1253K时,Si3N4/TiZrCuB/Cu/TiZrCuB/Si3N4接头TiN界面反应层的生长系数k8p为2.3×10-m/s1/2。在1253K-1323K的钎焊温度范围内,该接头TiN界面反应层的生长激活能Q为424.01kJ/mol。建立了Si3N4/TiZrCuB/Cu/TiZrCuB/Si3N4钎焊连接过程数学模型,阐述了利用该模型选择钎焊参数的方法。在选定的钎焊温度下,首先根据试验结果和文献的数据确定最佳反应层厚度ZC,根据ZC可确定需要的TiZrCuB非晶钎料箔的厚度W1,再根据选定的W1就可确定最佳保温时间和铜箔厚度。
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