近年来,随着微电子及半导体产业的不断发展,微机电系统(Micro-ElectroMechanical Systems,MEMS)已经被越来越多地运用于日常生活中。MEMS技术具有低成本,高性能,微型化,集成度高等优点。MEMS微镜作为一种微执行器,可以广泛地被应用于生物医疗、军事国防、电子通信等多领域,可以充分满足电子产业对于高集成度和小型化的需求。电热式MEMS微镜具有精度高、工艺兼容性好、垂直位移大等方面的优势,已经被广泛地应用于包括傅里叶光谱仪在内的多种仪器设备中。然而,电热式MEMS微镜容易受到环境因素的影响。当电热式微镜被长时间放置后,在外界环境的影响下,镜面的初始位置容易发生改变,这将严重影响器件的可靠性与精度。针对这一问题,本文设计并制作了一种新型上下结构电热式MEMS微镜,并对其进行了分析与研究。本文设计的上下结构电热式MEMS微镜可以保证镜面初始位置不受环境因素影响,提高了器件的可靠性;同时,上下结构电热式微镜的驱动器可以驱动镜面向两个方向进行垂直运动,加大了镜面的垂直位移。本文首先介绍了MEMS微镜的发展现状及趋势,研究了电热式驱动器的驱动原理,并对基于bimorph结构的电热驱动器的工作原理进行了理论推导和分析,为大位移微镜的设计提供了理论基础;之后,本文对上下结构电热式MEMS微镜的制作方法进行了详细的描述,并对上下结构电热式MEMS微镜进行了建模和仿真。最后,本文对上下结构电热式微镜的样品进行了测试。使用光学显微镜等设备,测试了上下结构电热式微镜的垂直位移、镜面倾角、谐振频率等多种特性。