集成电路技术是电子信息产业的基础,集成电路制造设备的性能对于提高电子信息产业的发展起着非常重要的推动作用。对于集成制造装备而言,硅片传输机械手是集成制造装备中的关键设备之一,机械手的性能将很直接的影响集成电路制造系统的生产效率与质量。因此,展开对硅片传输机械手的研究具有重要的意义。针对硅片传输机械手运动的高速、平稳性的特点,本文展开了对其控制策略的研究。本文主要针对R-θ型机械手进行了控制策略的设计,并且在理论的基础上搭建了完成了整个控制算法的设计和整个控制系统的仿真验证。最后搭建了硅片传输机械手试验样机,编写控制程序对机械手性能进行了验证。首先选择了R-θ构型的机械手进行设计,并且对R-θ机械手串联三杆的模型进行分析,建立了机械手运动学方程。建立机械手系统电机数学模型的,选用id=0的矢量控制策略。然后通过理论分析,选取了加速度为等腰梯形函数的轨迹规划方法,设计了相应的控制策略抑制机械手运动过程中可能存在的干扰,对整个控制策略加以设计。为了是建立的硅片传输机械手的仿真模型与实际的模型更加接近,进行了ADAMS实体模型与Matlab的联合仿真,同时仿真结果验证了本文提出的控制策略的合理性。最后进行了控制系统硬件平台的搭建,建立了机械手控制软件的架构,对控制软件系统的采样进行加以设计,对控制算法实现离散化、程序化。经过测试得出,无论在高中低速,机械手运动过程、稳态过程位置误差都能够满足设计需求。对机械手进行整体重复性测试,通过测试结果可以看出,整体重复性达标。