UV激光器减反射膜的研制

被引量 : 3次 | 上传用户：zhangtianyu66

【摘要】

：

为了提高全固态紫外激光器的使用寿命和效率,降低其各光学元件的表面反射光学损耗,提高转换率,增强紫外倍频光的输出功率,在光学元件表面镀制高透过率的减反射膜,是解决问题的重要方法。本文简要介绍了紫外减反射膜的应用,具体针对工作波段在240nm～280nm高透的减反射膜进行了制备和研究。运用TXX700-2型箱式真空镀膜机,采用电子束加以离子辅助沉积系统来镀制薄膜,通过对工艺参数的调整,提高抗激光损伤阈

【作者】

：

杨洁

【机构】

：

长春理工大学

【发表日期】

：

2012年03期

【关键词】

：

光学薄膜离子辅助沉积激光损伤阈值紫外激光器

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