【摘 要】
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硅微谐振式加速度计是一种新型的加速度计,其输出信号为频率信号,具有精度高和抗干扰能力强等优点,已成为微传感器的重要发展方向之一。本论文由硅微谐振式加速度计的结构设计技术展开,研究的主要内容包括:1)DETF谐振器的设计与分析主要包括对DETF谐振器的理论推导与仿真分析。理论部分包括:建立了谐振梁的固有频率、有轴向力作用时的谐振频率以及谐振梁的非线性振动的理论模型,并采用FEA进行了理论模型的仿真验
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硅微谐振式加速度计是一种新型的加速度计,其输出信号为频率信号,具有精度高和抗干扰能力强等优点,已成为微传感器的重要发展方向之一。本论文由硅微谐振式加速度计的结构设计技术展开,研究的主要内容包括:1)DETF谐振器的设计与分析主要包括对DETF谐振器的理论推导与仿真分析。理论部分包括:建立了谐振梁的固有频率、有轴向力作用时的谐振频率以及谐振梁的非线性振动的理论模型,并采用FEA进行了理论模型的仿真验证。对电学模型进行了详细分析,论述了其驱动检测方式,并推导了其等效电学模型。仿真
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