随着人口老龄化的日趋严重、慢性病患病率持续升高,能够对人体健康进行实时检测的可穿戴设备显示出巨大市场前景。柔性声表面波湿度传感器具有小型化、功耗低、准数字型输出及可无线无源控制的优势,将其嵌入可穿戴设备中,可用于检测人体呼吸及空气湿度,对监测人体呼吸暂停疾病及提高人体舒适度具有重要意义。而传统声表面波传感器基于硬质衬底,无法实现柔性化并应用于弯曲表面。本文提出了基于柔性玻璃的柔性声表面波器件及氧化锌纳米线/石墨烯量子点湿度复合敏感薄膜的制备方法,实现了器件性能及传感器灵敏度的显著提高,并探究了其可穿戴应用。本工作首先对柔性玻璃衬底上的氧化锌压电薄膜及声表面波器件制备方法进行研究,并分别表征制备的薄膜及器件性能,与相关工作进行分析对比;在此基础上,搭建湿度传感测试平台,测试氧化锌压电薄膜作为敏感膜的传感湿度响应特性,进一步分析半导体金属氧化物对湿度敏感的机理;进而研究石墨烯量子点浓度对传感器湿度灵敏度的增强效应,并测试稳定性、重复性及分辨率等传感器特性,分析传感器敏感机理,以及对湿度传感实际应用场景进行探究。在柔性玻璃衬底上制备的器件,信号幅度达到45 d B,机电耦合系数达到3.5%,显著高于基于聚合物衬底的声波器件（20 d B,1.21%）,为高性能柔性传感器及柔性片上实验室提供了良好的基础。通过提高加入的量子点浓度（1.81 mg/ml）,将传感器的湿度灵敏度提高至40.16 k Hz/%RH,响应恢复时间缩短至27 s/12 s。且湿度分辨率优于1%,在相对湿度水平大于40%时,传感器的频率偏移随相对湿度水平呈线性变化。湿度灵敏度的提高,归因于氧化锌纳米线的大比表面积、石墨烯量子点的大量亲水性官能团,以及石墨烯量子点与氧化锌纳米线之间形成的异质结作用,这也为其他基于声学原理的湿度敏感膜的设计提供了参考。最后,探究了此柔性声表面波湿度传感器在弯曲曲面、环境湿度水平检测、人体呼吸监测等可穿戴领域的典型应用,并揭示了其在人机交互（HMI）、空间定位和个人医疗保健方面的发展潜力。