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薄膜作为物质存在的最常见的形式之一,广泛地应用于MEMS和微电子器件中,并且占有着重要的地位,目前的微尺度热学研究主要集中在薄膜上。薄膜的热物性参数决定着器件的热性能,是建立器件热平衡方程和进行热分析的重要基础,所以分析薄膜中的传热问题自然成为进一步提高器件性能的关键步骤。因此,准确地对微/纳米薄膜热学参数进行定量分析对器件的研究和发展具有重要的意义。本论文基于微尺度传热理论,提出了测试多层薄膜热导率和热容的方法,并将测试结构加工成型,最后测量出了多层薄膜的热导率和热容值。首先,本论文对常见