【摘 要】
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该文利用廉价、丰富的工业级硅粉为原料,优化工艺条件,在SSP设备上制备颗粒硅带,并采用扫描电镜(SEM)、俄歇电子能谱(AES)、X射线衍射(XRD)和四探针测试仪等多种测试手段对硅
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该文利用廉价、丰富的工业级硅粉为原料,优化工艺条件,在SSP设备上制备颗粒硅带,并采用扫描电镜(SEM)、俄歇电子能谱(AES)、X射线衍射(XRD)和四探针测试仪等多种测试手段对硅带的结构和性能进行了表征.另外,对颗粒硅带的成本进行了初步计算.并对以颗粒硅带为衬底,化学气相沉积的硅膜以及由此制备的多晶硅薄膜太阳电池进行了初步分析和表征.利用不同形状不同颗粒尺寸的硅粉,通过SSP设备制备出了表面光滑、性能均一的颗粒硅带.发现硅粉的形状为球形、硅粉层的堆积紧密时,更易得到致密平整的高质量的硅带.硅粉的颗粒直径在50~500μm为宜.
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