纺织钢领真空电弧离子镀设备的研究

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离子镀膜设备具有成膜速度快、所制膜层与基体结合力强和膜层更致密等优点,因此在真空镀膜设备中应用最为广泛。本文旨在运用电弧离子镀技术来实现钢领的低温镀膜,并使所镀制膜层更加均匀、致密。衡量镀膜工艺优劣的重要标准是膜层的均匀性,一是要求膜层致密,二是要求大滴液数量减少。设计出一种带可调磁场、屏蔽罩和特殊水冷机构的蒸发源,能有效提高膜层质量。同时,加装弯管磁过滤器,使离子在电磁场中改变运动轨迹,有效地过滤掉了大滴液。并通过实验研究,确定了设计参数,设计的蒸发源不仅实现了低温镀膜,也使镀膜层质量明显提高。为了确保钢领在镀制过程中,基体的温度不超过GCr15钢淬火后的回火最高温度——200℃,通过对各个发热源产热量及真空室热源分布等的计算分析,采用水直接喷淋蒸发源与水套直冷真空室的结构,实现了正常连续镀膜工艺过程,镀件基体温度均匀控制的新低——170℃,确保了钢领低温电弧离子镀膜工艺的实施。依据真空设备设计准则和镀制钢领工艺要求,借助于Ansys分析软件,采用图算法对关键部件真空室进行了数值计算分析,确定出了真空室主体的所用材料与关键的结构形式及参数,完成了复杂结构的中大型圆形真空室的设计,配置了合理的真空系统,估算了抽气的时间与效率。同时,采用齿轮传动实现了镀件既能自转,又能公转,保证了工件镀膜的均匀性。
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